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STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺

更新時間:2021-09-30

簡要描述:

STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺。采用先進的慣性振動傳感器,復雜的控制算法,和先進的壓電致動器。STACIS通過連續測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。
初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振,STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備

STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺

STACIS®III是先進的主動振動隔離系統。采用先進的慣性振動傳感器,復雜的控制算法,和先進的壓電致動器。STACIS通過連續測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。
初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振,STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備


Stacis III包括一個新型改進的數字控制器-DC-2020。 它搭載全新高效的雙核處理囂, 前后面板上都配備以太網和USB串口,新型先進控制系統為用戶提供了一個現代 的、 易于使用的圖形用戶界面(GU幣。
Stacis III在世界各地有數百個成功安裝案例, 對于大部分振動敏感儀器來說都是理想的振動清除系統。


STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺STACIS相比于氣浮支腿更加堅固可靠, 且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限 性. 它元氣浮支撐, 并且與主動的氣浮系統不同, STACIS可以放置在具有內部主動空 氣隔離系統的設備下面, 且兩個隔振系統相互兼容.
設計有獨特的通信串口和專有high-force壓電技術導致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲, 以及從2Hz開始主動振動消除性能可達至90%。

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